透過專業(yè)技術(shù)人員於現(xiàn)場(chǎng)的勘查、量測(cè)，可以將實(shí)際的生產(chǎn)機(jī)臺(tái)以計(jì)算機(jī)模型呈現(xiàn)，並提供流體與污染物擴(kuò)散計(jì)算分析，搭配專業(yè)技術(shù)人員的潔凈設(shè)計(jì)概念，就可以協(xié)助業(yè)主判斷生產(chǎn)機(jī)臺(tái)內(nèi)交叉污染或潔凈污染來源，並可以利用計(jì)算機(jī)模型進(jìn)行改善方案的優(yōu)化設(shè)計(jì)。為客戶處理生產(chǎn)機(jī)臺(tái)內(nèi)交叉污染與潔凈度問題的困擾。

我們?cè)?jīng)處理過的生產(chǎn)機(jī)臺(tái)有：半導(dǎo)體廠的8”黃光區(qū)SMIF潔凈度改善、

CMP、爐管、RCA Cleaner、Stripper及G6 TFT黃光Vacuum Dryer等機(jī)臺(tái)。