-
芯片生產(chǎn)微環(huán)境(mini environment)設(shè)施
微環(huán)境(mini environment) 被廣泛應用於8以下芯片生產(chǎn)環(huán)境防護輔助。 公司於2004年從微環(huán)境專業(yè)廠商ASYST授權(quán)所有圖面與技術(shù)，開始生產(chǎn)芯片生產(chǎn)專用微環(huán)境。並於2006年嘗試將CFD(計算流體...
查看詳情 -
低釋氣庫板
鑑於國內(nèi)半導體不斷往納米微小化發(fā)展，潔淨車間對環(huán)境中氣態(tài)分子污染的要求日益提高，低釋氣材料的適當選用遂成為建廠過程中的重要工程關(guān)鍵考慮。 為能更有效掌握質(zhì)量與交貨期...
查看詳情 -
洗滌式加濕系統(tǒng)
Lamp;K開發(fā)的洗滌式加濕系統(tǒng)包含扇形Air washer系統(tǒng)和高霧化洗滌式加濕（Air Washer）系統(tǒng)兩種形式。 透過特殊設(shè)計的噴嘴形式，在低操作壓力（約3kg/cm2），即擁有約200m以及極細的78m的水...
查看詳情 -
DCFU (Ducted Chemical Filter Unit) 系統(tǒng)
所謂的DCFU系統(tǒng)，意指將化學篩檢程式結(jié)合於一個具有風機的單元，並直接連接於風管末端，故名為風管式化學過濾單元。 此系統(tǒng)最大的特點，就是節(jié)約客戶的運轉(zhuǎn)電費及化學篩檢程式...
查看詳情
