低釋氣庫板
發(fā)佈日期：2020-07-17????流覽次數(shù)：78
鑑於國內(nèi)半導(dǎo)體不斷往納米微小化發(fā)展，潔淨(jìng)車間對環(huán)境中氣態(tài)分子污染的要求日益提高，低釋氣材料的適當(dāng)選用遂成為建廠過程中的重要工程關(guān)鍵考慮。
為能更有效掌握質(zhì)量與交貨期，公司於2018年在高新技術(shù)企業(yè)研發(fā)立項(xiàng)的專用資金支持下，展開低釋氣庫板開發(fā)，成功通ASTM測試，於2019年完成低釋氣庫板開發(fā)。並已實(shí)際投入工程應(yīng)用於高端浸潤式曝光機(jī)潔淨(jìng)車間、 高端半導(dǎo)體光阻生產(chǎn)車間等， 獲得客戶廣泛認(rèn)可。
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