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芯片生產微環(huán)境(mini environment)設施

發(fā)佈日期：2020-07-17????流覽次數(shù)：176

微環(huán)境(mini environment) 被廣泛應用於8”以下芯片生產環(huán)境防護輔助。

公司於2004年從微環(huán)境專業(yè)廠商ASYST授權所有圖面與技術，開始生產芯片生產專用微環(huán)境。並於2006年嘗試將CFD(計算流體仿真技術)應用於微環(huán)境系統(tǒng)中，提升產品對生產環(huán)境的保護保證能力。

公司先後供應蘇州和艦科技、上海天馬微電子等客戶，超過50臺以上，能應客戶需要客製化製作並搭配CFD進行優(yōu)化，廣獲客戶信賴與認可。