生產(chǎn)機(jī)臺內(nèi)氣流交叉污染與潔凈分析與診斷咨詢服務(wù)
發(fā)布日期:2017-12-22????瀏覽次數(shù):149
透過專業(yè)技術(shù)人員于現(xiàn)場的勘查、量測,可以將實(shí)際的生產(chǎn)機(jī)臺以計(jì)算機(jī)模型呈現(xiàn),并提供流體與污染物擴(kuò)散計(jì)算分析,搭配專業(yè)技術(shù)人員的潔凈設(shè)計(jì)概念,就可以協(xié)助業(yè)主判斷生產(chǎn)機(jī)臺內(nèi)交叉污染或潔凈污染來源,并可以利用計(jì)算機(jī)模型進(jìn)行改善方案的優(yōu)化設(shè)計(jì)。為客戶處理生產(chǎn)機(jī)臺內(nèi)交叉污染與潔凈度問題的困擾。
我們曾經(jīng)處理過的生產(chǎn)機(jī)臺有:半導(dǎo)體廠的8”黃光區(qū)SMIF潔凈度改善、
CMP、爐管、RCA Cleaner、Stripper及G6 TFT黃光Vacuum Dryer等機(jī)臺。
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