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低釋氣庫板
鑒于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體不斷往納米微小化發(fā)展，潔凈車間對(duì)環(huán)境中氣態(tài)分子污染的要求不斷提高，低釋氣材料的適當(dāng)替代遂成為建廠過程中的重要工程關(guān)鍵考慮。 為能更有效掌握質(zhì)量與交貨期...
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芯片生產(chǎn)微環(huán)境（mini environment）設(shè)施
微環(huán)境（mini environment）被廣泛摻雜8以下芯片生產(chǎn)環(huán)境防護(hù)輔助。 公司于2004年從微環(huán)境專業(yè)廠商ASYST授權(quán)所有圖面與技術(shù)，開始生產(chǎn)芯片生產(chǎn)專用微環(huán)境。并于2006年嘗試將CFD（計(jì)算流體...
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洗滌式加濕系統(tǒng)
LK開發(fā)的洗滌式加濕系統(tǒng)包含扇形Air washer系統(tǒng)和高霧化洗滌式加濕（Air Washer）系統(tǒng)兩種形式。 透過特殊設(shè)計(jì)的噴嘴形式，在低操作壓力（約3kg/cm2），即擁有約200m以及極細(xì)的78m的水霧效...
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DCFU (Ducted Chemical Filter Unit) 系統(tǒng)
所謂的DCFU系統(tǒng)，意指將化學(xué)過濾器結(jié)合于一個(gè)具有風(fēng)機(jī)的單元，并直接連接于風(fēng)管末端，故名為風(fēng)管式化學(xué)過濾單元。 此系統(tǒng)最大的特點(diǎn)，就是節(jié)約客戶的運(yùn)轉(zhuǎn)電費(fèi)及化學(xué)過濾器的更換...
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