低釋氣庫板
發(fā)布日期：2021-12-03????瀏覽次數(shù)：84
鑒于國內(nèi)半導(dǎo)體不斷往納米微小化發(fā)展，潔凈車間對環(huán)境中氣態(tài)分子污染的要求不斷提高，低釋氣材料的適當(dāng)替代遂成為建廠過程中的重要工程關(guān)鍵考慮。
為能更有效掌握質(zhì)量與交貨期，公司于2018年在新興企業(yè)研發(fā)立項的專用資金支持下，展開低釋氣庫板開發(fā)，成功通ASTM測試，于2019年完成低釋氣庫板開發(fā) 。和已實際投入的工程改造高端浸潤式曝光機潔凈車間，高端半導(dǎo)體光阻生產(chǎn)車間等，獲得客戶廣泛認(rèn)可。
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